Pfeiffer C590 System napylania próżniowego PVD

Pfeiffer C590

Możliwości:
2x Pfeiffer Classic 590 dostępne!
Cena: 99 500 EUR/szt.
Konfiguracja Powlekacz 1:

2x Pfeiffer TPH 2301 (2300ls) po kapitalnym remoncie
Pfeiffer DCU 600
2x Zawór dławiący VAT 64048-pe48-ads2/0001
1x czujnik pełnozakresowy Pfeiffer PKR251
Pfeiffer TPR280 do próżni wstępnej
Pompa wstępna Pfeiffer DUO 120 (120 m3/h)
Komora próżniowa:
dla rozmiaru podłoża okrągłego 840 mm
w tym osłony i zapasowy zestaw osłon
2x rzutnia
Kilka przepustów
Obrotowy przepust z termoelementem
Promiennik podczerwieni
Rozdzielacz wodny plus zawory
Zawory próżniowe do odpowietrzania, przepompowywania itp.
Uwagi: Obecnie używany do odparowywania oporów (brak dostępnych łodzi)

Obecny sterownik PLC i szafa E zostały usunięte ze względu na IP. Jednakże: w razie potrzeby nasza firma Orange Thin Films może przeprowadzić kompletną renowację z automatyzacją Labview i nowymi procesami (takimi jak Eeam-Sputtering-Evaporation itp.).


Konfiguracja Powlekacz 2:

2x Pfeiffer TPH 2201 s p c (poziomy turbo 2200ls) całkowicie wyremontowany
Pfeiffer DCU 600
2x Zawór dławiący VAT 64048-pe48-ads2/0001
1x czujnik pełnozakresowy Pfeiffer PKR251
Pfeiffer TPR280 do próżni wstępnej
Pompa wstępna Pfeiffer DUO 120 (120 m3/h)
Komora próżniowa:
dla rozmiaru podłoża okrągłego 840 mm
w tym osłony i zapasowy zestaw osłon
2x rzutnia
Kilka przepustów
Fjdpohwv Tfefx Ac Dogh
Obrotowy przepust z termoelementem
Promiennik podczerwieni
Rozdzielacz wodny plus zawory
Zawory próżniowe do odpowietrzania, przepompowywania itp.
Uwagi: Prąd użyty do odparowania opornika (brak dostępnych łodzi)
Obecny sterownik PLC i szafa E zostały usunięte ze względu na IP. Jednakże: w razie potrzeby ou
[...]

Ogłoszenie zostało przetłumaczone automatycznie. Błędy w tłumaczeniu są możliwe.